杭州众硅12英寸全方位CMP设备布局已领先国外

2022年7月15日-16日，被誉为集成电路中小企业的发展“风向标”的第六届集微集成电路峰会在福建厦门世界性会议中心酒店隆重召开。在峰会上，专注于新一代有机化学液压平坦化（CMP)电子系统领域的自为硫高科技电子高科技有限公司（都有又称“自为硫高科技”）参加了本次集成电路中小企业展，主要展出有了其新锐8英寸CMP电子系统TENMS®200S CMP、6英寸CMP电子系统TENMS®150 CMP以及12英寸CMP电子系统TTAIS™300 CMP。

作为新锐8英寸CMP电子系统，自为硫高科技TENMS®200S CMP有着可靠性高、自动控制软件新新技术、建筑面积小等耀眼，可以应用于Si/STI/ILD/Poly/Si/W/Cu等元件。其中很多人强调的是建筑面积小的特征，TENMS®200S CMP建筑面积仅5.94M2，很低电子系统的的单位面积产出有率，因为有时候8英寸晶圆厂为了提高净化厂房投入生产效率，电子系统的建筑面积越小越好。

在8英寸CMP电子系统并重，自为硫高科技通过全社会，开发设计出有了首台6台可同时拥护3盘和2盘工艺元件的12英寸CMP电子系统TTAIS™300 CMP。该电子系统采用6x独立国家研磨模组和2x独立国家清洗模组的全新新颖的架构，工艺优点更高，元件相容性更多，在微处理器投入生产的过程中，提供可维护性高、投入生产成本高、示范使用价格低廉等优点，不仅可以节约成本还可以加快开发设计速度。

此外，自为硫高科技6英寸CMP电子系统TENMS®150 CMP适用于第三代集成电路，先于为国内外第三代集成电路供应商提供平坦化的框架。

凭借这些创新性CMP电子系统，自为硫高科技获取日渐多的供应商公认。今年上半年，SARS弥漫，加剧集成电路中小企业受挫，但是自为硫高科技通过自身优势，不断创新，积极应对多变的商品环境，突破重重困难，取得了良好的成绩。其中自为硫高科技6英寸CMP电子系统表现异常亮眼，这款电子系统已踏入了国内外多家公司主流第三代集成电路供应商，为后续第三代集成电路的爆发月份奠定基础的基础；现在12英寸CMP电子系统也收尾了全部的测试，并匆忙月底踏入产线解析，为12英寸CMP电子系统的试产添砖加瓦，构建中小企业高总质量的发展路线。

不能忽视的是月底SARS间歇、通胀等因素同样犹如着集成电路中小企业的的发展，但是并不会变动集成电路电子系统试产的的发展航向，试产电子系统仍然有着更大的商品前景。自为硫高科技精细确认未来商品，将月底业务重心放在推进12英寸CMP电子系统在浏览器的解析上，并努力花钱好浏览器的拥护和服务，促成电子系统新技术全面性成熟并得到中小企业的公认。同时，自为硫高科技还将坚持推进开发设计、量产和总质量防范等，为迭代CMP电子系统花钱匆忙。

现在，在自为硫高科技等业者的不懈努力下，国产CMP电子系统取得了后续成果，同时也获取了中小企业高度公认。自为硫高科技在12英寸新一代CMP电子系统布局上已经领先海外，凭借此也获取2021年度的芯军事力量大赛“最具投资价值奖”，自为硫将全面性加大开发设计有效地，持续优化各组件新技术，完善软件自动控制，努力紧随世界性新新技术新技术。

自为硫高科技以前以来都为了加速CMP电子系统试产多线程花钱了很多努力。因此建议，第一，重视人才，大力引进和养成专业人才；第二，重视商品机制，发挥商品激励起到，鼓励新技术竞争者；之前，要有长期持久的政策拥护，持之以恒，一定能成功！